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乙二胺邻苯二酚

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乙二胺邻苯二酚(Ethylenediamine pyrocatechol,EDP), 也被称为湿蚀刻溶液(EPW),是一种用于非等向性蚀刻溶液。典型的配方包括乙二胺邻苯二酚吡嗪和水。本品具有致癌性以及非常强的腐蚀性。主要用于研究实验室里,在主流半导体制程里并无应用。

参考文献

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